CROSSBEAM 340
Единственный в России уникальный двухлучевой сканирующий электронный/ионный микроскоп ZEISS CrossBeam 340, укомплектованный рентгеновским микроанализатором Oxford Instruments X-Max 80. Микроскоп позволяет получать изображения и проводить химический анализ объектов с нанометровым разрешением. Это является необходимым условием для конструирования новых функциональных материалов и покрытий для изделий различных отраслей промышленности. Особенностью CrossBeam 340 является возможность исследования непроводящих образцов (в том числе полимеров и биоматериалов) в режиме низкого вакуума. Наличие современного источника ионов Ga, уникального для Юга России, позволяет проводить наномодификацию поверхности с целью получения материалов, обладающих качественно новыми свойствами.
Характеристики камеры и столика для образцов:
- Максимальный размер образца: диаметр до 150 мм, толщины до 55 мм
- Точность перемещения и повторяемости позиции: 2 мкм
- Диапазоны перемещений: X: 100 мм, Y: 100 мм, Z: 50 мм, Наклон: -5 – 70̊, Вращение: 360̊
- Имеется держатель для кремниевых пластин
- Рабочий высокий вакуум в камере — 2х10-5 Па
- Диапазон низкого вакуума в камере — от 10 до 65 Па
- Рабочий высокий вакуум в пушках — 2х10-8 Па
Характеристики электронной колонны Zeiss Gemini:
- Тип катода — автоэмисионный катод Шоттки
- Стабильность пучка по току — 0,2%/час, 0,4%/сутки
- Ускоряющее напряжение — от 20 до 30 000 В
- Разрешение при ускоряющем напряжении 15 кВ, 30 кВ — 1,0 нм
- Разрешение при ускоряющем напряжении 1 кВ — 1,9 нм
- Встроенные детекторы вторичных (SE) и обратно рассеянных (BSE) электронов
- Боковой детектор вторичных электронов (BSE)
- Детектор вторичных электронов для работы в режиме низкого вакуума
- Детектор поглощенного тока с функцией замера тока зонда
- 2 ИК-камеры с регулируемой ИК-подсветкой
Характеристики ионно-оптической колонны/пушки:
- Источник ионов Ga+
- Механическая подстройка положения источника относительно оптической оси и система коррекции астигматизма пучка
- Ускоряющее напряжение ионной пушки — от 500 до 30 000 В
- Сменная автоматическая система из 14 апертур
- Время смены апертур с сохранением первоначально отъюстированных параметров пучка для каждой апертуры — 15 секунд
- Диапазон рабочих токов для ионной колонны — от 1 пА до 100 нА
- Полный диапазон увеличений без искажения геометрии образцов и без использования режимов искаженного отображения типа «Рыбий глаз» — от 300 х до 500 000 х
- Разрешающая способность ионной колонны при ускоряющем напряжении 30 кВ — 3,0 нм
Характеристики рентгеноспектрального энергодисперсионного микроанализатора (ЭДС):
- площадь детектора — 80 мм2
- энергетическое разрешение по Kα-линии марганца (ПШПВ) — 127 эВ
- диапазон качественного анализа — от Be до Am
- диапазон количественного анализа — от Be до U
- количество каналов импульс процессора — 4096
- сдвиги аналитических линий при изменении скорости счета с 1 000 имп/с до 100 000 имп/с — не превышают 1 эВ
- возможность управлять из программы ЭДС-анализа электронным пучком и столиком образцов РЭМ
- функция построения профиля элементов вдоль заданной линии на образце
- функция количественного элементного картирования
- набор из 55 сертифицированных NIST стандартов для ЭДС-анализа
- тест объект для поверки разрешающей способности электронной/ионной пушки и увеличения
- программный модуль для неразрушающей характеризации толщин тонких пленок на поверхности образца при их различном элементном составе